低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的***量攜能電子轟擊污染物，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜***污染物轉變為簡單小安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為污染處理***域中的一項具有極強潛在***勢的高新技術，等離子體受到了***內外相關學科界的高度關注。

　　低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在***氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極***的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的***氣日益惡化，酸雨（主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物）的危害引起了的重視。由于***氣受污染而酸化，導致了生態的，重***災難頻繁發生，給人類造成了巨***損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

　　目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。***部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。